AURION ANLAGENTECHNIK GMBH

AURION Anlagentechnik GmbH - Плазменная технология = Плазменные системы + ВЧ-компонентыAURION Anlagentechnik GmbH была основана в конце 1996 года тремя акционерами. Идея, которая предшествовала основанию компании, заключалась в том, чтобы производить компоненты и комплектные системы обработки поверхности, которые были бы эффективными, экономичными и экологически чистыми. AURION разрабатывает и производит компоненты для питания плазменных систем. К ним относятся сети согласования импедансов с блоками автонастройки, а также фильтры, переключатели, фазовращатели, делители мощности, кабели и разъемы. Основное внимание уделяется высокочастотным плазменным процессам на 13, 56 и 27, 12 МГц. Основываясь на своем ноу-хау в проектировании компонентов, AURION также предлагает комплексные системы для плазменной обработки поверхностей, то есть для очистки и модификации поверхности, а также для процессов нанесения покрытий и травления (PVD, PECVD, RIE, микроволны).